臺式掃描電鏡具備樣品表面微觀形貌觀測和表面元素成分點、線、面分析，將電鏡和能譜在生產(chǎn)環(huán)節(jié)集成在一臺設(shè)備中，后期通過一個軟件平臺控制操作，用戶只需要熟悉一個軟件就能同時操控兩項功能，也變得相對簡單快速。

   臺式掃描電鏡是掃描電鏡能譜行業(yè)的一個里程碑。亮度10倍于鎢燈絲不僅使電鏡能譜一體機提供高的臺式掃描電鏡分辨率，同時也使得表面元素分析更加準(zhǔn)確快速。背散射電子圖像用不同的灰度呈現(xiàn)出不同的元素配備的射線探頭，定性半定量探測元素的點、線、面分布。

   臺式掃描電鏡具有飛納系列全自動操作、15秒快速抽真空、不噴金觀看絕緣體、2-3年更換燈絲等特點，無需防震環(huán)境，可放置在任意樓層，能譜無外接部件，無需液氮冷卻。臺式掃描電鏡較強的激光會破壞光學(xué)器件，如鏡面，光學(xué)涂層或纖維。為了選擇合適的光學(xué)器件， 發(fā)現(xiàn)多大能量的激光會損害一個組件，或者地改變其光學(xué)特性是十分重要的。

   在進(jìn)行掃描電鏡分析時，為了獲得感興趣區(qū)域佳的圖像效果，必須考慮一些重要的參數(shù)。其中一個很重要的參數(shù)就是加速電壓，它是加在電子槍的陰極和陽極之間，用來加速電子產(chǎn)生電子束的。臺式掃描電鏡加速電壓的選擇與樣品的導(dǎo)電性、放大倍數(shù)及圖片質(zhì)量等因素有關(guān)。一般來說，加速電壓越高，圖像的分辨率越高。

   測試所用到的設(shè)備不同，所得結(jié)果的質(zhì)量以及所遇到的挑戰(zhàn)也就不同。當(dāng)你用光學(xué)顯微鏡工作，你可以得到彩色的低倍數(shù)圖片，但是這些圖片往往分辨率比較低，而你使用更好的設(shè)備，例如臺式掃描電鏡，由于其利用電子成像，可以獲得更高的圖像分辨率和放大倍數(shù)，更大的圖像景深，以及物體3D外部形狀的可視化。但是，傳統(tǒng)的掃描電鏡非常昂貴，需要占用大量的空間，并且，操作員需要長時間的培訓(xùn)才能掌握。這就是臺式掃描電鏡出現(xiàn)的原因（替代傳統(tǒng)的落地式掃描電鏡）。