掃描電子顯微鏡是一種大型分析儀器，它廣泛應用于觀察各種固態物質的表面超微結構的形態和組成所謂掃描是指在圖象上從左到右、從上到下依次對圖象象元掃掠的工作過程。它與電視一樣是由控制電子束偏轉的 電子系統來完成的，只是在結構和部件上稍有差異而已。 

   在電子掃描中，把電子束從左到右方向的掃描運動叫做行掃描或稱作水平掃描，把電子束從上到下方向的掃描運動叫做幀掃描或稱作垂直掃描。兩者的掃描速度*不同，行掃描的速度比幀掃描的速度快，對于1000 條線的掃描圖象來說，速度比為1000。掃描電子顯微鏡利用二次電子信號成像來觀察樣品的表面形態，即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產生各種效應，其中主要是樣品的二次電子發射。

   掃描電子顯微鏡掃描系統由掃描發生器和掃描線圈組成。它的作用是：使入射電子束在樣品表面掃描，并使陰極射線顯像管電子束在熒光屏上作同步掃描；改變入射束在樣品表面的掃描幅度，從而改變掃描像的放大 倍數。掃描電子顯微鏡應用的物理信號可分為：1) 電子信號，包括二次電子、背散射電子、透射電子和吸收電子。吸收電子可直接用電流表測，其他電子信號用電子收集器；2) 特征X射線信號，用X射線譜儀檢測(EDS) 。圖像顯示系統是將電信號轉換為陰極射線顯像管電子束強度的變化，得到一幅亮度變化的掃描像，同時用照相方式記錄下來，或用數字化形式存儲于計算機中。

   掃描電子顯微鏡提供必需的高真空，保證了電子束的正常掃描，還可以防止樣品受到污染，電源系統主要是指各種部件的電源，如加速電壓電源、透鏡電源和光電倍增管電源等，雖然是顯微鏡家族中的*，但 由于其本身具有許多*的優點，發展速度是很快的。掃描電子顯微鏡可以根據需要選擇大小不同的視場進行觀察，同時在高放大倍數下也可獲得一般透射電鏡較難達到的高亮度的清晰圖像，觀察樣品的景深大，視場 大，圖像富有立體感，可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口象等，使人具有親臨微觀世界現場之感。

    掃描電子顯微鏡可以通過電子學方法有效地控制和改善圖像質量，如亮度及反差自動保持，試樣傾斜角度校正，圖象旋轉，或通過Y調制改善圖象反差的寬容度，以及圖象各部分亮暗適中。采用雙放大倍數裝置或圖 象選擇器，可在熒光屏上同時觀察放大倍數不同的圖象。