掃描電鏡是一種新型的電子光學(xué)儀器，它具有制樣簡(jiǎn)單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大等特點(diǎn)，數(shù)十年來(lái)，掃描電鏡已廣泛地應(yīng)用在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、冶金學(xué)等學(xué)科的領(lǐng)域中，促進(jìn)了各有關(guān)學(xué)科的發(fā)展。

   電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì)產(chǎn)生次級(jí)電子、背散射電子、歐革電子以及X射線等一系列信號(hào)。所以需要不同的探測(cè)器譬如次級(jí)電子探測(cè)器、X射線能譜分析儀等來(lái)區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。雖然X射線信號(hào)不能用于成象，但習(xí)慣上，仍然將X射線分析系統(tǒng)劃分到成象系統(tǒng)中。

   掃描電鏡的景深比較大，成像富有立體感，所以它特別適用于粗糙樣品表面的觀察和分析，分辨本領(lǐng)是掃描電鏡的主要性能指標(biāo)之一。在理想情況下，二次電子像分辨率等于電子束斑直徑。位于焦平面上下的一小層區(qū)域內(nèi)的樣品點(diǎn)都可以得到良好的會(huì)焦而成象，這一小層的厚度稱為場(chǎng)深，通常為幾納米厚，所以，掃描電鏡可以用于納米級(jí)樣品的三維成像。

   電子束不僅僅與樣品表層原子發(fā)生作用，它實(shí)際上與一定厚度范圍內(nèi)的樣品原子發(fā)生作用，所以存在一個(gè)作用"體積"。掃描電鏡是一種多功能的儀器、具有很多*的性能、是用途為廣泛的一種儀器，所謂納米材料就是指組成材料的顆粒或微晶尺寸在0.1-100nm范圍內(nèi)，在保持表面潔凈的條件下加壓成型而得到的固體材料。

   納米材料具有許多與晶體、非晶態(tài)不同的、*的物理化學(xué)性質(zhì)，納米材料有著廣闊的發(fā)展前景，將成為未來(lái)材料研究的重點(diǎn)方向。掃描電鏡的一個(gè)重要特點(diǎn)就是具有很高的分辨率，現(xiàn)已廣泛用于觀察納米材料。