如何使用掃描電鏡獲取*的陶瓷類樣品圖像？飛納電鏡與你一起，多角度分析這個問題。

（a）

（b）

圖1 同類陶瓷相同電壓不同電流的對比

(a)10kV 電流Low 放大倍數500×

(b)10kV 電流Image 放大倍數350×

圖1顯示了同一類樣品在相同電壓、不同電流模式下的對比圖。可以看出，隨著電流的增加圖像的細膩度增加，信噪比增加，圖像質量上升了。這主要是由于相同加速電壓下，當增加電子束電流之后，有更多的電子跟樣品發生相互作用，電子束在單像素停留時，有更多電子和樣品發生相互作用，探頭接受了更多的BSD信號；另一方面，圖像中單像素范圍內電子束與樣品的相互作用范圍增大，相鄰像素的電子束作用范圍重合度增加，這樣一來單像素的灰度值與鄰近像素的灰度值更趨于接近，灰度變化曲線的平滑性更好，給人一種細膩的視覺感受。對應的劣勢也很明顯，增加電流之后，電子束變粗，分辨率略有下降。