掃描電鏡主要用于微觀形貌分析，其測試結果的好壞，一方面是由儀器的性能、測試條件和操作人員水平決定，另一方面還與樣品制備過程有關。

SEM樣品需要保持清潔、無污染物，盡量把污染程度降到低。因此要求我們在拿取與制備樣品時需要佩戴干凈無粉手套，使用的剪刀、鑷子等制樣工具亦要保持干凈。
 

保持 SEM 制樣工具干凈

如果在樣品制備過程中，不注意保持清潔，用裸手拿取樣品，手上的油脂灰塵會污染樣品。如下圖所示，裸手接觸干凈鋁箔表面后，可以觀察到明顯的污染物。通過能譜面掃分析，發現污染顆粒主要成分為碳和氧，由此推斷該污染物主要為油脂。

       干凈鋁箔表面                                                    裸手觸摸過的鋁箔表面

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表面污染物能譜面掃結果分析